氣體質(zhì)量流量單位

氣體質(zhì)量流量單位一般以sccm（Standard Cubic Centimeter per Minute,每分鐘標準毫升）和slm（Standard Liter per Minute,每分鐘標準升）來(lái)表示。這意味著(zhù)，這種儀表在不同的使用條件下，指示的流量均是標準狀態(tài)下的流量。標準狀態(tài)規定為: 氣壓—101325Pa (760mm Hg); 溫度—0℃ (273.15K)。這是這種儀表和其它流量計的重要區別，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之處。

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質(zhì)量流量控制器的工作壓差范圍是個(gè)什么概念?

質(zhì)量流量控制器(MFC)中設置有一個(gè)氣體流量調節閥門(mén), 閥門(mén)能使通過(guò)控制器的流量從零調節到測量的滿(mǎn)量程, 在工作的過(guò)程當中, 控制器的入口和出口之間會(huì )產(chǎn)生一個(gè)氣壓降, 即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa, 若壓差低于值(0.1 MPa), 有可能控制達不到滿(mǎn)量程值; 若高于值(0.3MPa), 有可能關(guān)閉時(shí)流量不能小于2%F.S。用戶(hù)使用MFC時(shí), 無(wú)論用戶(hù)工作的反應室是真空還是高壓, 應做到使MFC進(jìn)出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內, 并且要求氣壓要相對穩定。

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使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽, 氣壓很低, 如何定制質(zhì)量流量控制器的低壓降產(chǎn)品?

部分用戶(hù)使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽做氣源，氣壓很低, 用普通MFC, 不能正常工作。這時(shí)用戶(hù)需要向供貨商特別聲明, 定制低壓降的質(zhì)量流量控制器。通?？梢远ㄖ乒ぷ鲏翰畹陀?.01MPa的MFC, 這時(shí)MFC的工作壓差范圍, 也會(huì )變小。

注意使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽時(shí), 不能讓汽化物在MFC中結露, 結露會(huì )影響MFC的正常工作。為了防止結露, 可以對管路和MFC適當加溫, 但MFC的工作環(huán)境溫度通常不得超過(guò)50℃。如果用戶(hù)要MFC的工作環(huán)境溫度超過(guò)65℃以上, 需要特殊購買(mǎi)高溫MFC產(chǎn)品。

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選擇產(chǎn)品和訂貨時(shí)應當注意什么？

這一點(diǎn)關(guān)系到用戶(hù)的切身利益，涉及的問(wèn)題也比較多，因而我們盡可能地給以祥盡﹑客觀(guān)的回答。

(1) 注意選擇正確的品牌

一般應當衡量生產(chǎn)廠(chǎng)家的產(chǎn)品質(zhì)量﹑銷(xiāo)售價(jià)格﹑售后服務(wù)﹑技術(shù)水平﹑產(chǎn)品特點(diǎn)﹑生產(chǎn)規模﹑企業(yè)信譽(yù)等因素。

(2) 注意選擇正確的量程

A. 將您需要的流量換算成標準狀態(tài)下的流量（質(zhì)量流量）。

B. 根據廠(chǎng)家提供的質(zhì)量流量轉換系數表，將您所用氣體的質(zhì)量流量值換算成與氮氣（標定氣體）等價(jià)的質(zhì)量流量值。如果您希望按您實(shí)際使用的氣體標定，請向廠(chǎng)家說(shuō)明。有關(guān)質(zhì)量流量轉換系數的問(wèn)題，以下還有進(jìn)一步解答。

C. 確定所需標準量程。廠(chǎng)家一般有自己的各種規格的標準量程，您實(shí)際使用的流量值應接低于某個(gè)標準量程值。標準量程的選取要避免過(guò)大或過(guò)小。質(zhì)量流量的誤差指標是按滿(mǎn)量程值的百分比規定的，如果實(shí)際流量較小而量程值選取過(guò)大，則測量值的相對誤差較大。

期望大家在選購流體系統控制單元時(shí)多一份細心，少一份浮躁，不要錯過(guò)細節疑問(wèn)。想要了解更多流體系統控制單元的資訊，歡迎撥打圖片上的熱線(xiàn)電話(huà)?。?！